台车炉的使用结构介绍

更新时间：2020-07-28 点击次数：1833次

　　台车炉是在半导体器材制造中运用的一种加工处理设备，其包含加热配件，接下来一起来看看小编的介绍：

　　热处理用台车炉结构包括炉体、升降式炉门、台车和运行轨道，台车前端设置有卡板，卡板与台车形成“t”型结构，卡板的后端面上设置有电源插头和导向杆。

　　台车的电气链条滑动驱动装置结合轨道装置可以装载沉重的负荷;采用钢轮和齿杆驱动装置的台车无需在炉前敷设轨道;不同拓展成为台车炉设备的方式：辅助台车;采用驻车轨道的台车驱动系统适用于更换车辆并且连接多个炉子;台车和横向移动装置的电机驱动。

　　热处理是针对不同的作用而规划的。可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改动成长的薄膜的状态，修正注入的损害，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底。